| Производитель | Trillium |
| Страна | США |
| Время охлаждения, мин | 150 |
| Вход и выход | 320 мм |
| Емкость водорода, л | 30 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | OnBoard IS 320F/E |
| Назначение | Промышленный |
| Подсерия | OnBoard |
| Серия | Refurbished CTI |
| Скорость откачки по H2O, л/с | 11000 |
| Скорость откачки по аргону, л/с | 3000 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 12500 |
| Скорость откачки, л/с | 3600 |
| Тип | Криогенный |
